唐传祥教授清华大学

① 苗齐田的主要成就

1、2003年度国家科学技术进步奖获奖，J-218-1-01，加速器辐射源移动式集装箱检查系统系列的研制及产业化，清华大学、清华同方威视技术股份有限公司，康克军、高文焕、林郁正、王经瑾、陈志强、李荐民、苗齐田、刘以农、唐传祥、李元景、李君利、胡海峰、童德春、梁志忠、陈怀璧。
2、2007年高校科学技术一等奖，清华大学，同方威视技术股份有限公司，康克军、刘以农、林郁正、胡海峰、陈志强、程建平、苗齐田、唐传祥、李荐民、李元景、李君利、陈怀璧、李玉兰、张丽、张克、赵自然、王甲绪、冯建春、肖永顺、杜泰斌、靳清秀、王学武、刘耀红、李泉凤、刘文国。
3、核子秤，周立业、苗齐田编著，清华大学核能技术设计研究院
4、大型集装箱检测室的屏蔽设计，刘以思、苗齐田，清华大学核能技术设计研究院。
5、中子照相研究工作的若干进展，《同位素》1990年01期，清华大学核能技术研究所，张朝宗、安福林、郭志平、刘以思、苗齐田、貊大卫。
6、选煤厂调度计算机管理系统[A]，第7届全国核电子学与核探测技术学术年会论文集（二）[C]，1994年，曲义坤、周立业、苗齐田、吴志芳、向新程、魏任之。
7、铁路自动定量装车系统设计[A]，第7届全国核电子学与核探测技术学术年会论文集（三）[C]，1994年，周立业、苗齐田。
8、β射线电离气体流速/流量测量研究[A]，第8届全国核电子学与核探测技术学术年会论文集（一），曲义坤、周立业、苗齐田、向新程，吴志芳、魏任之，1996年。
9、ZJH36/127S隔爆兼本质安全型核子秤的设计[A]，第8届全国核电子学与核探测技术学术年会论文集（二）[C]，1996年，向新程、周立业、苗齐田、吴志芳。
10、中国专利，一种水泥成份生料分析装置，作者：刘以思、貊大卫、蓝克坚、张朝宗、郭志萍、安福林、苗齐用、安福林、苗齐田。
11、中国专利，一种可组合移动的集装箱检测系统，清华大学、清华同方威视技术股份有限公司，作者：康克军，高文焕，张化一，苗齐田，唐传祥，陈志强，李荐民，李元景，刘以农，李君利，程建平。
11、中国专利，固定式集装箱检查系统的板链输送机，清华大学、清华同方股份有限公司，作者：康克军、高文焕、栗志军、苗齐田、张化一、刘以农、李元景、李荐民、陈志强、唐传祥、李君利、苏建军、梁志忠。
12、中国专利，针孔反散射成像装置，作者：刘以农、高文焕、李元景、康克军、金永杰、李玉兰、唐船祥、李君利、李荐民、陈志强、苗齐田、程建平、李政、刘亚强。
13、中国专利，一种用于车载移动式集装箱和车辆检查系统的报警装置，作者：彭华、杨中荣、孙尚民、苗齐田，栗志军。
14、中国专利，可变裂缝测试装置及其测试方法，作者：林东、李元景、康克军、苗齐田、赵自然、张 丽、刘以农、吴万龙、罗希雷、唐乐。
15、中国专利，一种可移动悬臂门式集装箱检查系统；清华大学、同方威视技术股份有限公司；作者：康克军、陈志强、苗齐田、李元景、江南、彭华、王学武、梁晋宁、孙尚民、梁志忠、宋全伟、吴玉成、韩彦军、杨光、胡斌、顾菁宇。
16、中国专利，一种用于辐射成像用的数据获取和控制电路及其方法，清华大学、同方威视技术股份有限公司，作者：李元景、张清军、康克军、苗齐田、江年铭、李建华。
17、中国专利，一种用于辐射成像用的数据获取和控制电路，清华大学、清华同方威视技术股份有限公司，作者：李元景、张清军、康克军、苗齐田、江年铭、李建华。
18、中国专利，一种利用X射线进行原木检疫辐照的方法与装置，作者：康克军、胡海峰、唐传祥、李元景、苗齐田、张化一、李君利、陈志强、胡明、黄铭、刘耀红、吴万龙、张辉、明申金。
19、中国专利 ，一种γ射线探测器，清华大学、同方威视技术股份有限公司，作者：康克军、胡海峰、杨袆罡、陈志强、苗齐田、程建平、李元景、刘以农、彭华、李铁柱、赵自然、刘耀红、吴万龙。
20、延伸的墨迹——清华大学1977级毕业30周年纪念文集，清华大学出版社，作者：苗齐田，祁海鹰

② 清华新成果有望解决光刻机自研难题，这是怎么回事

SSMB光源的潜在应用之一是将来成为EUV光刻机的光源，这是国际社会高度重视清华大学SSMB研究的重要原因。在芯片制造行业，光刻机是必不可少的精密设备，是集成电路芯片制造中最复杂，最关键的工艺步骤，光刻机的曝光分辨率与波长直接相关，在半个多世纪以来，波长光刻技术的光源的规模正在缩小，这已被芯片行业公认为是新一代的主流光刻技术是使用波长为13.5纳米的光源的EUV光刻技术。

这就需要对SSMB EUV光源进行持续的科学技术研究，以及上下游产业链的合作，才能取得真正的成功。专业人士认为这项研究展示了一种新的方法，并且肯定会引起对粒子加速器和同步加速器辐射领域的兴趣，该实验演示了如何结合现有的两种主要加速器光源的特性：同步辐射辐射光源和自由电子激光器，有望将SSMB光源用于EUV中，是光刻和角度分辨光电子能量的未来。清华大学正在积极支持和推动在国家一级建立SSMB EUV光源项目，清华SSMB研究小组已向国家发改委提交了“稳态微束极紫外光源研究装置”的项目提案，并宣布了“十四五”期间国家重大的科学技术基础设施计划”。

③ 唐传祥的主要经历

大学学习阶段
1987年9月－1992年7月，在清华大学现代应用物理系（现物理系）现代应用物理专业加速器物理及应用学科方向学习，获得理学学士学位。同时，在清华大学电子系攻读第二学位，获得“电子与计算机技术”工学学士第二学位。
博士研究生学习阶段
1992年9月－1996年3月，考入清华大学工程物理系硕博连读。1996年3月获得工学博士学位， 博士学位论文为“用于北京自由电子激光装置的多腔热阴极微波电子枪的研究”，该研究获1999年中国粒子加速器分会组织的第四届“希望杯”全国青年优秀论文一等奖 1996年4月获得博士学位后，留校工作。
1996年7月～1998年6月期间，作为访问学者到德国DESY工作2年。在DESY工作期间，主要进行超导加速结构的优化及测量研究，并与J. Sekutowicz, M.Ferrario等合作提出了Superstructure的超导加速结构。
1998年6月回国后，继续在清华大学从事加速器物理、高亮度注入器、汤姆逊散射X射线源、自由电子激光、新加速原理与新型加速结构、电子直线加速器关键物理及技术、加速器应用等方面的研究。先后任加速器研究室主任、核技术及应用研究所副所长、工程物理系副系主任、工程物理系系主任等职务。

④ 清华团队新成果在《自然》发表，这次研究成果有何重要作用

有人说，如果能在《自然》上发表一篇文章，国内高校随便你选。从中可以看出，能在Nature上发刊的难度之高了。

光刻机是制造微机电、光电、二极体大规模集成电路的关键设备。其分为两种，一种是模板与图样大小一致的contact aligner，曝光时模板紧贴晶圆；另一种是利用类似投影机原理的stepper，获得比模板更小的曝光图样。高端光刻机被称为“现代光学工业之花”，制造难度很大，全世界只有少数几家公司能制造。 因此曝光机价格昂贵，通常在 3 千万至 5 亿美元。

那制作光刻机究竟有什么用呢？

可以说，如今我们使用的任何智能设备，都离不开一个东西，那就是二极体大规模集成电路，而光刻机就是制造这个东西的。

所以，完全自主生产光刻机也被认为中国制约中国科技发展的又一大障碍。

⑤ 唐传祥的介绍

唐传祥，男，1969年生于山东沂源县鲁村。毕业于清华大学，是杰出青年基金获得者，博士生导师。