清华大学教授文章

㈠ 清华大学工物系教授程曜在最近一篇文章中提到:中国的现状和一百多年前的美国非常类似。

美国经济史 乔洞缺纳森·休斯(JonathanHughes)
建议看一下那个年代的小说，毕竟小说上描写的那个时代更桥颤销加鲜活。
德莱塞、杰克伦敦、欧亨利的敏游小说推荐

㈡ 清华大学历史系李伯重教授有哪些著作

《北宋方腊起义》（署名：千里，与延之合著），云南人民出版社（昆明）1975年 《唐代江南农业的发展》，农业出版社（北京）1990年 《Agricultural Development in the Yangzi Delta, 1620-1850》，英国麦克米兰出版公司戚缓（The Macmillan Presss Ltd., Houndmills, England） 与美国圣马丁出版公司（St. Martin’s Press, Inc. , New York, USA）。中译本（《江南农业的发展，1620—1850年》），上海古籍出版社，2006年 《江南的早期工业化，1550－扰仔孝1850》，社会科学文献出版社（北京）2000年 《发展与制约：明清江南生产力研究》，联经出版事缓稿业公司（台北）2002年 《理论、方法与发展趋势：中国经济史研究新探》，清华大学出版社（北京）2002年。韩文版（Jungguk Gyeongjesa Yeonguui Saeroun Mosaek），2006年，汉城。 《多视角看历史：南宋后期至清代中期的江南经济》，三联书店（北京）2002年 《千里史学文存》，杭州出版社（杭州）2004年 《江南的城市工业与地方文化（960－1850年）》（与周生春共同主编），清华大学出版社（北京）2004年

译著： 《转变的中国：历史变迁与欧洲经验的局限》（美国王国斌著，与连琳琳合译），江苏人民出版社（南京），1998年

㈢ 清华副教授称因为不喜欢“内卷”就躺平是不负责任，网友怎么看

今天（28日）上午，#清华教授称躺平态度极不负责#话题一跃登进微博热搜前十，短短时间阅读量就达1.4亿次，讨论次数1.2万次，网友关注度可见一斑。不少网友认为，李锋亮“躺平极不负责任”的观点未免“居高临下”，还给人一种“站着说话不腰疼”之感。也有许多网友观其文章，反驳其对于“内卷”的说法，认为他对此理解并不准确。

甚至还有人进行情景假设，描绘了一幅“清华大学副教授卷起来”的场景，以说明什么叫做“内卷”。值得注意的是，一些网友也指出，“躺平”是一种接纳自我的生活方式。同时，也有人表示，不是自己不愿意奋斗，只是因种种现实原因而无奈选择“躺平”。

“躺平”文化释放了一个要关注年轻人心理和生活状态的信号：

对大部分年轻人而言，生活并非没有“欲望”，只是有时候实现的难度比较大，比如想要有更多可以自由支配的时间，想要尽可能地提升生活质量，在一番较劲之后发现没能“翻身”或者“逆袭”，也就选择了“躺平”。显然，现代社会仍然要尽可能多地创造条件，让年轻人有机会在社会系统中实现自我价值。

而另一方面，年轻人也不必急于“躺平”。哪怕是像《百元之恋》电影里靠“家里蹲”生活了32年的主人公，依然有产生“好想赢”意念的时刻，哪怕独自抵抗生活的重拳，也不妨向生活致意。

㈣ 清华大学教授信

清华大学美术学院绘画系教授忻东旺写给艺术爱好者的一封信:

广大的艺术爱好者或青年学生们，我能有机会和大家讨论关于艺术的话题是件很欣慰的事，不管有些孩子是否真的适合学艺术都没关铅瞎系，首先我认为我们有机缘接触到艺术就是一件幸事。

在我们的生活槐渣空中如果能多一份对艺术的感受力，就会远离平庸，就会使我们的生命维度加宽，因为艺术在生活中无处不在，如果我们能够欣赏到如同得到上帝的恩惠，否则就会白白的浪费掉。

生活中没有了艺术就好像失去芬芳和水分的水果一样，只剩下枯燥的功能和实用性了。或许有梁野人还不太理解只有实用而缺失美感的心灵，但它的确会影响整个民族的高贵。

如果恰好你因喜欢艺术而画画，那无疑是最幸运的了。只要你善于钻研思考，我相信因你爱艺术而会延展生命的意义。

㈤ 清华大学张超：实现数据确权与保护，数据密态渐成行业共识

2022年1月，国务院印发《“十四五”数字经济发展规划》，强调要着力强化数字经济安全体系，增强网络安全防护能力，提升数据安全保蔽渗障水平，有效防范各类风险。近日，清华大学网络研究院副教授、MIT TR35 China获得者张超发表文章，阐释了要充分利用创新的技术手段推动数据确权等观点。

全文如下：

近期，推动数字经济 健康 发展，成为了各方热议的话题。随着移动互联网、云计算、物联网、工业互联网等信息技术的快速发展和落地应用，网络空间积累了海量的数据，涉及现代 社会 运转的方方面面，包括个人信息及各行业生产流通数据等，蕴含着巨大的价值。而人工智能等技术的发展，进一步提升了从海量数据中提取价值的能力。在广泛的数据来源以及丰富的数据处理能力基础上，人类 社会 正在进入数字经济时代，数据成为新时代的“石油”。

国家《“十四五”数字经济发展规划》指出，数字经济是继农业经济、工业经济之后的主要经济形态，是以数据资源为关键要素的新经济形态。推动生产要素数字化转型，充分开发和利用数据中的价值，是发展数字经济的重要途径。数据作为一种特殊的资源，具有所有权、使用权、运营权、收益权、隐私权等不同的权利属性，明确数据的权利所有者是实现数据流通及交易的前提，只有产权界定清晰、权责明确，数据才能共享流通，发挥其价值。同时，在数据的流通及交易过程中，必须确保数据的相关权利以及隐私性得以保护，才能支持数字经济的 健康 持续且高质量发展。

然而，不同于实体经济的石油，数字经济的数据资源具有独特的性质，为数据的确权、流通和交易带来了挑战。首先，数据具有可克隆性。明文的数据在流通过程中被克隆后，新数据与原来的数据无法区分；进一步，不同来源的数据可以融合为新的数据；而新数据经过分析处理之后可以进一步提炼为新的数据；导致数据的产权边界随着流通而变得模糊，为产权保护带来极大挑战。再者，数据存在隐私属性，通过数据分析可以提取数据所有者或者提供者的信息，包括个人隐私信息等。如何在开发利用数据价值的同时保护隐私，是数据流通及交易中需要解决的另外一个重大挑战。

在早期的数据产业生态中，数据的使用简单粗暴，从用户侧未经授权直接采集数据，用明文直接传递数据，以明文形式存储敏感数据，带来了巨大的安全和隐私问题。数据明文形态给数据的确权、流通及交易带来了挑战，数据产权难以确定和验证，数据流通过程中隐私泄露风险高。

今年1月，中国信通院组织的隐私计算合规白皮书座谈会上，蚂蚁集团副总裁韦韬提出：“个人信息的保护对 社会 、对企业的影响都是非常大的，我们将正式步入前所未有的数据密态时代。”这一技术洞察很好地反映了当前数据流通领域现状，现在看来，已然逐渐成为行业共识。在数据密态时代，数据将以密态形式在主体间流动和计算，密码学技术和隐私计算是关键手段。利用公钥密码等技术对数据进行加密，可以定义数据主体身份，明确密态数据的产权所有者为密钥拥有者，并可以向其他主体证明数据的所有权，且防止数据泄露，从而有效支撑数据确权等。

推动数据确权，需要充扰瞎分利用创新的技术手段。其中，多方安全计算等隐私计算技术，可以在不转移原始数据的前提下实现对数据的开发利用，推动数据所有权和使用权分离，实现数据“可用不可见”。不过隐私计算等数据匿名化技术在没有限定的开放环境下，仍存在数据被恢复识别的风险。针对这个问题，产业界的解决方案提供了很好的参考，例如蚂蚁集团提出的“可信隐私计算”能很好的满足对环境的管控、对使用场景的限定、以及对审计的支持，使合规性、数据权益管控达到好的平衡点。通过融合隐私计算与可信计算技术，可以有效解决匿名化后个人信息重新被识别的问题，实现“可算不可识”。

密态数据的隐私计算技术，解决了数据确权与隐私保护的很多痛点，但是在实践落地中仍然存在挑战，需要进一步融合多种技术缓并空甚至与法规相配合，才能更好地推动密态数据的确权、流通与交易等商业应用的实用化落地。

首先，隐私计算单一技术并非所有应用的最佳解决方案，例如在密态数据的登记与检索方面，与区块链技术相结合的隐私计算技术可以更高效地实现密态数据的确权登记、确权记录检索、交易登记、交易记录检索等。其次，当前的隐私计算面临着效率瓶颈，包括本地计算效率以及网络通信效率等，解决效率问题的技术途径包括针对隐私计算的专用芯片、优化的隐私计算算法等。第三，隐私计算系统也面临着传统的安全风险，在开放的网络与系统环境下，其逻辑和数据的完整性可能受到破坏，因而也需要硬件、系统、算法多维度的技术协同，确保隐私计算技术的底座安全性。最后，技术方案不能完全解决数据确权与合规的问题，需要标准、法规的支持与配合。当某个隐私计算方案失去了其承诺的数据保护能力时，需要通过行业标准、国家标准、法律法规的支持，让业界有规可循，才能实现其商业应用的合规。

过去中国在很多技术的发展上都滞后于国际水平，但是数据安全领域还处在发展早期，以数据为要素的数字经济处于发力阶段，中国是有机会在世界范围内领先的。

“数据密态”将成为整个数字领域的核心竞争力，也是行业发展的共同诉求。大力发展可信隐私计算等技术，有望推动数字经济高速发展，成为我国经济发展的下一轮强劲增长点。

㈥ 清华大学工程物理系教授曾写过一篇文章

是的。
是关于半导体量子阱中激子旋量态理论和半导体超晶格拉曼散射的微观理论。
是中国科学院院士，清华大学高等研究院教授，物理系教授。毕业于清华大学工程物理系，1981年获清华大学固体物理硕士学位，曾任物理系主任，理学院院长。

㈦ 朱文涛的清华大学教授

朱文涛 ，男，生于1946年12月，清华大学化学系教授，中国化学会化学教育委员会委员 。
1970年毕业于清华大学工程化学系（现为化学工程系）物理化学专业，留校任教至今。1996－1997年在美Emory University作访问学者，曾兼任中国化学会化学教育委员会委员。主要教学工作为开设本科《物理化学A》，主要研究方向为电化学。编著出版150多万字的教材和教学参考书，发表教学及科研论文共60余篇，获专利4项，教学工作多次获得校级奖励，与他人合作获得国家科技进步二等奖1项，部级奖2项。 1970—1985年：在清华大学化工系任教，主要从事物理化学课程教学和聚碳酸酯化工产品的研制与生产；
1985年至今：在清华大学化学系任教，主要从事物理化学课程教学及科研工作。研究领域包括煤化学及煤燃烧清洁产品开发、电化学、高能二次锂离子电池和直接甲醇燃料电池；
1996—1997年：Emory University (U.S.A) 访问学者 编著物理化学教材3本（共110万字），发表教学与科研论文30余篇，获中国专利1项，获校级奖多项、部级奖1项、国家级奖1项。
（1）著作：
《物理化学（上册）》. 朱文涛. 清华大学出版社, 1995；
《物理化学（下册）》. 朱文涛. 清华大学出版社, 1995；
《物理化学中的公式与概念》. 朱文涛. 清华大学出版社, 1998；
《基础物理化学（上册）》. 朱文涛. 清华大学出版社, 2011；
《基础物理化学（下册）》. 朱文涛. 清华大学出版社, 2011；
（2）专利：易燃炭球. 武增华, 朱文涛. ZL 91 1 04375.6；
（3）部分文章：
朱文涛, 刘云. 标准平衡常数和经验平衡常数. 量与单位: 1992(1),21；
朱文涛, 邱新平. 热力学标准状态与平衡常数. 化学通报: 1999(6),25-27；
朱文涛, 邱新平. 化学动力学中活化能与反应热和活化焓关系的研究. 清华大学学报: 1999(6),23-24

㈧ 如何评价清华大学政治学系教授任剑涛在期刊论文中引用自媒体文章并声称人可以灵魂出窍、地球上有外星人

任教授的论文。

教授的用词还是比较严谨的，甚至有科学家令人惊奇地声称，根据有待确证的证据，都说明他团银后续沿引的证据可能是真的，可能是假的。

他将后续论点建立在这种或真或假的论据之上，已经说明他是在做“带有一定想象或假设意义上的讨论。

就好比现在很多论文喜欢讨论人工智能对未来20年世界的影响一样，只不过任教授的讨论的可能是100年以后的世界。

基本信息

不论是哪一种心态，都可以说是旧中国改革至今留下的必然后遗症，都是新中国必须直面的群众统治者共有的心态问题，若是不得到及时解决，它必然影响中国在新的世界体制下的发展脚步。

清华大学政治学教授任剑涛提出好或弯，中国人深藏一种中国与西方势不两立、你死我活的文化。他认为，中国人应该告别晚清战争带来的受害者的心态，以及强行排外的战狼式爱国。

这两种心态都直接导致中国无论是文化友闷还是政治领域，都与西方相抗衡，格格不入，使得中西两种文化没有办法平等发展下去。

㈨ 以《背影》闻名文坛的清华教授，50岁拒吃美国援助的面粉而饿死

1948年6月18日，清华大学中文系主任吴唅拿着一份拒绝接受美国面粉的声明书来到了一个教授的家中，这位近50岁的教授正因为胃病复发营养不良而卧床不起，瘦得不成人形。

吴唅拿着声明书对他说：“你一家老少九口，日子特别艰难，如果拒绝在声明上签字，经济损失特别大，但为了尊重你的意见，我还是来了，总之不要勉强。”

这位瘦得不成人形的教授艰难地坐起来，坚决在声明上签了字对吴唅说：“我的秉性，吴先生是知道的。春秋时节气节之士坚持不吃嗟来之食活活饿死，傲骨可嘉，足可为人师表。故我宁可饿死，也不要带有侮辱性的美援面粉。“，两个月后，这位教授病逝，他就是以《背影》闻名的文学家朱自清。

01

朱自清原名自华，字佩弦，号秋实，1898年出生于江苏梅州，他出生于一个官宦家庭，祖父朱则余是海州当地的承审法官，父亲朱鸿钧在扬州的江都县做过官。

1901年，3岁的朱自清随父母迁居扬州，在杨州市安乐巷29号老宅中住了十三年，他的祖父和父亲都是文官因此从小对他的教育都十分重视，朱自清从小就授受正式的私塾教育，也为他后来成为大文学家打下了基础。

1912年，14岁的朱自清考入新式教育的扬州高等小学，随后进入江苏第八中学就读，四年后以优异成绩考上了北京大学预科，后来取《楚辞》中“宁廉洁正直以自清严”中的“自清”二字，改名为朱自清。

1916年，年18岁的朱自清也遵从父母之言娶了当地名医武威三的女儿武钟谦，婚后倒也美满，武钟谦是个贤妻良母，先后为朱自清生下了六个孩子，婚后第二年，朱自清的父亲因为一场风波丢了职务，从此朱家失去了稳定的经济来源。

不过这也没有影响到朱自清的学业，他在大学充分发挥了自己的文学才华，于1919年2月出版了处女诗集《睡吧，小小的人儿》，他还参加了新潮社，并且积极参与“五四运动”，在青年时期是个有为青年。

1920年，朱喊手此自清以优异成绩提前一年在北京大学哲学系毕业，年仅22岁，高等大学毕业后的朱自清工作却不怎么顺利，他先带着妻子去杭州浙江第一师范学校担任老师，后来又回到母校杨州中学任教，当时父亲已失业，弟弟妹妹又小，全家都靠朱自清收入生活，经济负担很重。

当时朱自清的新派思想跟父亲的旧派思想老是发生冲突，于是他又带着妻儿离开了杨州，前往上海吴淞中国公学任教，但还是每月寄钱回薯陪老家补贴家用。

02

1925年，27岁的朱自清在好友俞平伯介绍下进入清华大学任教，生活总算稳定一些了，这时他的妻子武钟谦却积劳成疾去世了，给朱自清留下了五个孩子，一个带孩子的男人急需郑迅一个女人帮手，于是好友浦西为他介绍了一个叫做陈竹隐的女孩认识。

陈竹隐是四川成都人，毕业于四川第一女子师范学校，也是一个知识份子，她很仰慕朱自清，愿意跟朱自清结婚，但善良的朱自清考虑到自己是个丧偶还带着五个娃的男人，而对方是个未婚的年轻女子，不想拖累，所以拒绝。

但陈竹隐为朱自清的人品所折服，主动示爱，表示不计较当孩子的继母，朱自清大受感动，两人热恋于1932年结婚，他们婚后非常幸福，陈竹隐又连续生下了三个孩子，对朱自清与前妻的五个孩子也视如己出，感情很好，但是由于陈竹隐一人带着八个小孩，难免偶然会有情绪。

朱自清敏锐地察觉到了这点，主动减少在外应酬，并承担了一部分家务，顺利度过了婚姻的磨合期，感情历久弥坚，两人相亲相爱，一直到朱自清去世，都很恩爱。

03

朱自清与妻子的关系处得非常好，但之前跟父亲的心结一直没有打开，1928年，朱自清前妻去世前一年，他突然收到久不通信的父亲朱鸿钧的一封信。

当时的父亲已经年过半百，他在信中写道：“我身体平安，惟膀子疼痛厉害，举箸提笔，诸多不便，大约大去之期不远矣。”朱自清看到这封信心里非常难受，连续几夜辗转反侧，没有睡好，想起父亲以前对自己的种种好处不免动容。

尤其回忆起1917年他去北京大学就读时，父亲送别他的场景，一时之间百感交集，灵感喷发，朱自清挥笔写下了中国现代史上最经典的散文之一《背影》

之后，上海开明书店出版了朱自清的散文集，其中就有这篇《背影》，朱自清的三哥朱自华看到大哥的散文集就带回家给父亲看，父亲看到儿子写的《背影》，不禁老泪纵横，父子冰释前嫌。

随着父子关系的缓和，朱自清也进入了文学创作高峰，接连创作出了很多优秀作品。1934年他出版了《欧游杂记》，1935年编辑了《中国新文学系》，1936年出版了散文集《你我》。

这时抗日战争爆发，朱自清随清华大学南下长沙，1938年3月到达昆明，出任北京大学、清华大学、南开大学合并的西南联合大学的中国文学系主任，并当选为中华全国文艺界抗敌协会理事。

在抗战时期，物资短缺，就是像朱自清这样的文学家和大学教授生活都非常困难，当时他的月薪不过400块出头，全家开销远远超过收入，很多时候需要依靠友人的救助过活，但在这样艰难的环境中，朱自清仍然孜孜不倦地从事着教学和文学研究。

04

抗战胜利后，朱自清又回到北平继续教学，这时一宗惨案打破了他生活的平静，他的挚友闻一多出事了。闻一多是湖北黄冈人，出国留学归来后也在清华任教，但他是个抗战积极份子，于1944年加入了中国民主同盟会，1945年当选为中国民主同盟会中央委员。

1945年，国民党出动大量军警镇压学生运动，造成了震惊全国的“一二一”惨案，国民党特务认定民主人士李公朴是罢课的组织者，将其暗杀，闻一多在李公朴的追悼会上发表了《最后一次讲演》公开斥责国民党特务，被国民党暗杀，这就是历史上著名的“李闻惨案”。

朱自清闻讯非常悲痛，他立即写信给闻一多夫人，表示了愤怒和商议遗稿出版事，还表示愿意尽力照顾闻家人的生活，由此事件为契机，朱自清也坚定地成为民主主义战士。

05

毛泽东曾在《别了，司徒雷登》中写道：“中国人是最有骨气的，许多曾经是自由主义者或民主主义的人们，在美帝国主义者及其走狗国民党反动派面前站起来了。“其中就列举了朱自清一身重病，宁愿饿死也领美国”救济粮“的例子。

抗战前，朱自清就因为生活不规律患上胃病，再加上家中八个孩子，他为了节省口粮，经常一天只吃餐，后来胃病开始严重，不得不休养了整整一年。

抗战结束后，内战又爆发，国家的经济一片混乱，朱自清这样的教授虽然比普通老百姓生活要好一些，但也就勉强填饱肚子而已，当时他的胃病已经非常严重，每餐只能吃少量的细粮，当时这种情况要么去黑市买粮，要么就接受当时美国提供的”救济粮“。

美国的”救济粮“是指美国人在1948年援助国民党政府数亿美元的一部分，主要为了解决中国饥荒的问题，这些粮食有很多种，其中就有粗粮和细粮，但当时清华大学一批爱国教师起草了一份《百十师长严正声明》，拒绝美国收买性质的施舍。

当时朱自清没有细粮就活不下去，但他宁愿饿死也不愿意接受美国的施舍，真正地体现了一位爱国文学家的气节，可歌可泣。有些人活着，却已经死了，有些人死了，却永远活着，朱自清就属于后者。

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㈩ 清华团队论文登Nature，或为EUV光刻机发展提供新想法

【新智元导读】 2月25日，清华大学工程物理系唐传祥研究组与合作团队在《自然》上发表研究论文《稳态微聚束原理的实验演示》，报告了一种新型粒子加速器光源「稳态微聚束」的首个原理验证实验。与之相关的极紫外光源有望解决自主研发光刻机中最核心的「卡脖子」难题。

最现代的研究用光源是基于粒子加速器的。

这些都是大型设施，电子在其中被加速到几乎是光速，然后发射出具有特殊性质的光脉冲。

在基于存储环的同步辐射源中，电子束在环中旅行数十亿转，然后在偏转磁体中产生快速连续的非常明亮的光脉冲。

相比之下，自由电子激光器(FEL)中的电子束被线性加速，然后发出单次超亮的类似激光的闪光。

近年来，储能环源以及FEL源促进了许多领域的进步，从对生物和医学问题的深入了解到材料研究、技术开发和量子物理学。

现在，一个中德团队证明，在同步辐射源中可以产生一种脉冲模式，结合了两种系统的优点。

2月25日，清华大学工程物理系教授唐传祥研究组与来自亥姆霍兹柏林材料与能源研究中心（HZB）以及德国联邦物理技术研究院（烂卜PTB）的合作团队在Nature上发表了题为《稳态微聚束原理的实验演示》（ Experimental demonstration of the mechanism of steady-state microbunching ）的论文。

报告了一种新型粒子加速器光源「稳态微聚束」（Steady-state microbunching，SSMB）的首个原理验证实验。

该研究与极紫外（EUV）光刻机光源密切相关，有望为EUV光刻机没历庆提供新技术路线。

SSMB光源首个原理验证实验，中德团队登上Nature

同步辐射源提供短而强烈的微束电子，产生的辐射脉冲具有类似于激光的特性（与FEL一样），但也可以按顺序紧密跟随对方（与同步辐射光源一样）。

大约十年前，斯坦福大学教授、清华大学杰出访问教授、著名加速器理论家赵午和他的博士生Daniel Ratner以提出了「稳态微束」（SSMB）。

赵午教授

该机制还应该使存储环不仅能以高重复率产生光脉冲，而且能像激光一样产生相干辐射。

来自清华大学的青年物理学家邓秀杰在他的博士论文中提出了这些观点，并对其进行了进一步的理论研究。

2017年，赵午教授联系了HZB的加速器物理学家，他们除了在HZB操作软X射线源BESSY II外，还在PTB操作计量光枯握源（MLS）。

MLS是世界上第一个通过设计优化运行的光源，在所谓的 「低α模式 」下运行。

在这种模式下，电子束可以大大缩短。10多年来，那里的研究人员一直在不断开发这种特殊的运行模式。

HZB的加速器专家Markus Ries解释说：「现在，这项开发工作的成果使我们能够满足具有挑战性的物理要求，在MLS实证确认SSMB原理」。

「SSMB团队中的理论小组在准备阶段就定义了实现机器最佳性能的物理边界条件。这使我们能够用MLS生成新的机器状态，并与邓秀杰一起对它们进行充分的调整，直到能够检测到我们正在寻找的脉冲模式」，HZB的加速器物理学家Jörg Feikes说。

HZB和PTB专家使用了一种光学激光器，其光波与MLS中的电子束在空间和时间上精确同步耦合。

这就调制了电子束中电子的能量。

「这使得几毫米长的电子束在存储环中正好转了一圈后分裂成微束（只有1微米长），然后发射光脉冲，像激光一样相互放大」，Jörg Feikes解释道。

「对相干态的实验性探测绝非易事，但我们PTB的同事开发了一种新的光学检测装置，成功地进行了探测。」

SSMB概念提出后，赵午持续推动SSMB的研究与国际合作。

2017年，唐传祥与赵午发起该项实验，唐传祥研究组主导完成了实验的理论分析和物理设计，并开发测试实验的激光系统，与合作单位进行实验，并完成了实验数据分析与文章撰写。

揭示SSMB作为未来光子源潜力的关键一步，是在真实机器上演示其机制。在新的论文中，研究人员报告了SSMB机制的实验演示。

SSMB原理验证实验示意图

实验表明，存储在准等时环中的电子束可以产生亚微米级的微束和相干辐射，由1,064纳米波长激光器诱导的能量调制后一个完整的旋转。

结果验证了电子的光相可以在亚激光波长的精度上逐次相关。

SSMB原理验证实验结果

在这种相位相关性的基础上，研究人员通过应用相位锁定的激光器与电子轮流相互作用来实现SSMB。

该图示直观地展示了如何通过激光调制电子束来产生发射激光的微束，是实现基于SSMB的高重复性、高功率光子源的一个里程碑。

有望解决EUV卡脖子难题

没有顶尖的光刻机，是我国半导体行业发展的最大瓶颈。

光刻机的曝光分辨率与波长直接相关，半个多世纪以来，光刻机光源的波长不断缩小，芯片工业界公认的新一代主流光刻技术是采用波长为13.5纳米光源的EUV（极紫外光源）光刻。

大功率的EUV光源是EUV光刻机的核心基础。简而言之，光刻机需要的EUV光，要求是波长短，功率大。

EUV光刻机工作相当于用波长只有头发直径一万分之一的极紫外光，在晶圆上「雕刻」电路，最后将让指甲盖大小的芯片包含上百亿个晶体管，这种设备工艺展现了人类 科技 发展的顶级水平。

而昂贵的EUV光刻机也正是实现7nm的关键设备，目前，荷兰ASML是全球唯一一家能够量产EUV光刻机的厂商，而由于禁令，我国中芯国际订购的一台EUV仍未到货。

如果中国大陆无法引入ASML的EUV光刻机，则意味着大陆将止步于7nm工艺。

目前ASML公司采用的是高能脉冲激光轰击液态锡靶，形成等离子体然后产生波长13.5纳米的EUV光源，功率约250瓦。而随着芯片工艺节点的不断缩小，预计对EUV光源功率的要求将不断提升，达到千瓦量级。

SSMB光源的潜在应用之一是作为未来EUV光刻机的光源。它们产生的类似激光的辐射也超出了 "光 "的可见光谱，例如在EUV范围内，最后阶段，SSMB源可以提供一种新的辐射特性。脉冲是强烈的、集中的和窄带的。可以说，它们结合了同步辐射光的优势和FEL脉冲的优势。

可以说，基于SSMB的EUV光源有望实现大的平均功率，并具备向更短波长扩展的潜力，为大功率EUV光源的突破提供全新的解决思路。

EUV光刻机的自主研发还有很长的路要走，基于SSMB的EUV光源有望解决自主研发光刻机中最核心的「卡脖子」难题。

关于作者

本文的通讯作者唐传祥教授是清华大学的博士生导师。

1992年9月－1996年3月，考入 清华大学工程物理系硕博连读。1996年3月获得工学博士学位， 博士学位论文为“用于北京自由电子激光装置的多腔热阴极微波电子枪的研究”。

1996年4月获得博士学位后，留校工作。

1996年7月 1998年6月期间，作为访问学者到德国DESY工作2年。在DESY工作期间，主要进行超导加速结构的优化及测量研究，并与J. Sekutowicz, M.Ferrario等合作提出了Superstructure的超导加速结构。

1998年6月回国后，继续在清华大学从事加速器物理、高亮度注入器、汤姆逊散射X射线源、自由电子激光、新加速原理与新型加速结构、电子直线加速器关键物理及技术、加速器应用等方面的研究。

参考资料：

https://phys.org/news/2021-02-reveals-options-synchrotron-sources.html

https://news.tsinghua.e.cn/info/1438/84915.htm