唐傳祥教授清華大學

① 苗齊田的主要成就

1、2003年度國家科學技術進步獎獲獎，J-218-1-01，加速器輻射源移動式集裝箱檢查系統系列的研製及產業化，清華大學、清華同方威視技術股份有限公司，康克軍、高文煥、林郁正、王經瑾、陳志強、李薦民、苗齊田、劉以農、唐傳祥、李元景、李君利、胡海峰、童德春、梁志忠、陳懷璧。
2、2007年高校科學技術一等獎，清華大學，同方威視技術股份有限公司，康克軍、劉以農、林郁正、胡海峰、陳志強、程建平、苗齊田、唐傳祥、李薦民、李元景、李君利、陳懷璧、李玉蘭、張麗、張克、趙自然、王甲緒、馮建春、肖永順、杜泰斌、靳清秀、王學武、劉耀紅、李泉鳳、劉文國。
3、核子秤，周立業、苗齊田編著，清華大學核能技術設計研究院
4、大型集裝箱檢測室的屏蔽設計，劉以思、苗齊田，清華大學核能技術設計研究院。
5、中子照相研究工作的若干進展，《同位素》1990年01期，清華大學核能技術研究所，張朝宗、安福林、郭志平、劉以思、苗齊田、貊大衛。
6、選煤廠調度計算機管理系統[A]，第7屆全國核電子學與核探測技術學術年會論文集（二）[C]，1994年，曲義坤、周立業、苗齊田、吳志芳、向新程、魏任之。
7、鐵路自動定量裝車系統設計[A]，第7屆全國核電子學與核探測技術學術年會論文集（三）[C]，1994年，周立業、苗齊田。
8、β射線電離氣體流速/流量測量研究[A]，第8屆全國核電子學與核探測技術學術年會論文集（一），曲義坤、周立業、苗齊田、向新程，吳志芳、魏任之，1996年。
9、ZJH36/127S隔爆兼本質安全型核子秤的設計[A]，第8屆全國核電子學與核探測技術學術年會論文集（二）[C]，1996年，向新程、周立業、苗齊田、吳志芳。
10、中國專利，一種水泥成份生料分析裝置，作者：劉以思、貊大衛、藍克堅、張朝宗、郭志萍、安福林、苗齊用、安福林、苗齊田。
11、中國專利，一種可組合移動的集裝箱檢測系統，清華大學、清華同方威視技術股份有限公司，作者：康克軍，高文煥，張化一，苗齊田，唐傳祥，陳志強，李薦民，李元景，劉以農，李君利，程建平。
11、中國專利，固定式集裝箱檢查系統的板鏈輸送機，清華大學、清華同方股份有限公司，作者：康克軍、高文煥、栗志軍、苗齊田、張化一、劉以農、李元景、李薦民、陳志強、唐傳祥、李君利、蘇建軍、梁志忠。
12、中國專利，針孔反散射成像裝置，作者：劉以農、高文煥、李元景、康克軍、金永傑、李玉蘭、唐船祥、李君利、李薦民、陳志強、苗齊田、程建平、李政、劉亞強。
13、中國專利，一種用於車載移動式集裝箱和車輛檢查系統的報警裝置，作者：彭華、楊中榮、孫尚民、苗齊田，栗志軍。
14、中國專利，可變裂縫測試裝置及其測試方法，作者：林東、李元景、康克軍、苗齊田、趙自然、張 麗、劉以農、吳萬龍、羅希雷、唐樂。
15、中國專利，一種可移動懸臂門式集裝箱檢查系統；清華大學、同方威視技術股份有限公司；作者：康克軍、陳志強、苗齊田、李元景、江南、彭華、王學武、梁晉寧、孫尚民、梁志忠、宋全偉、吳玉成、韓彥軍、楊光、胡斌、顧菁宇。
16、中國專利，一種用於輻射成像用的數據獲取和控制電路及其方法，清華大學、同方威視技術股份有限公司，作者：李元景、張清軍、康克軍、苗齊田、江年銘、李建華。
17、中國專利，一種用於輻射成像用的數據獲取和控制電路，清華大學、清華同方威視技術股份有限公司，作者：李元景、張清軍、康克軍、苗齊田、江年銘、李建華。
18、中國專利，一種利用X射線進行原木檢疫輻照的方法與裝置，作者：康克軍、胡海峰、唐傳祥、李元景、苗齊田、張化一、李君利、陳志強、胡明、黃銘、劉耀紅、吳萬龍、張輝、明申金。
19、中國專利 ，一種γ射線探測器，清華大學、同方威視技術股份有限公司，作者：康克軍、胡海峰、楊褘罡、陳志強、苗齊田、程建平、李元景、劉以農、彭華、李鐵柱、趙自然、劉耀紅、吳萬龍。
20、延伸的墨跡——清華大學1977級畢業30周年紀念文集，清華大學出版社，作者：苗齊田，祁海鷹

② 清華新成果有望解決光刻機自研難題，這是怎麼回事

SSMB光源的潛在應用之一是將來成為EUV光刻機的光源，這是國際社會高度重視清華大學SSMB研究的重要原因。在晶元製造行業，光刻機是必不可少的精密設備，是集成電路晶元製造中最復雜，最關鍵的工藝步驟，光刻機的曝光解析度與波長直接相關，在半個多世紀以來，波長光刻技術的光源的規模正在縮小，這已被晶元行業公認為是新一代的主流光刻技術是使用波長為13.5納米的光源的EUV光刻技術。

這就需要對SSMB EUV光源進行持續的科學技術研究，以及上下游產業鏈的合作，才能取得真正的成功。專業人士認為這項研究展示了一種新的方法，並且肯定會引起對粒子加速器和同步加速器輻射領域的興趣，該實驗演示了如何結合現有的兩種主要加速器光源的特性：同步輻射輻射光源和自由電子激光器，有望將SSMB光源用於EUV中，是光刻和角度分辨光電子能量的未來。清華大學正在積極支持和推動在國家一級建立SSMB EUV光源項目，清華SSMB研究小組已向國家發改委提交了“穩態微束極紫外光源研究裝置”的項目提案，並宣布了“十四五”期間國家重大的科學技術基礎設施計劃”。

③ 唐傳祥的主要經歷

大學學習階段
1987年9月－1992年7月，在清華大學現代應用物理系（現物理系）現代應用物理專業加速器物理及應用學科方向學習，獲得理學學士學位。同時，在清華大學電子系攻讀第二學位，獲得「電子與計算機技術」工學學士第二學位。
博士研究生學習階段
1992年9月－1996年3月，考入清華大學工程物理系碩博連讀。1996年3月獲得工學博士學位， 博士學位論文為「用於北京自由電子激光裝置的多腔熱陰極微波電子槍的研究」，該研究獲1999年中國粒子加速器分會組織的第四屆「希望杯」全國青年優秀論文一等獎 1996年4月獲得博士學位後，留校工作。
1996年7月～1998年6月期間，作為訪問學者到德國DESY工作2年。在DESY工作期間，主要進行超導加速結構的優化及測量研究，並與J. Sekutowicz, M.Ferrario等合作提出了Superstructure的超導加速結構。
1998年6月回國後，繼續在清華大學從事加速器物理、高亮度注入器、湯姆遜散射X射線源、自由電子激光、新加速原理與新型加速結構、電子直線加速器關鍵物理及技術、加速器應用等方面的研究。先後任加速器研究室主任、核技術及應用研究所副所長、工程物理系副系主任、工程物理系系主任等職務。

④ 清華團隊新成果在《自然》發表，這次研究成果有何重要作用

有人說，如果能在《自然》上發表一篇文章，國內高校隨便你選。從中可以看出，能在Nature上發刊的難度之高了。

光刻機是製造微機電、光電、二極體大規模集成電路的關鍵設備。其分為兩種，一種是模板與圖樣大小一致的contact aligner，曝光時模板緊貼晶圓；另一種是利用類似投影機原理的stepper，獲得比模板更小的曝光圖樣。高端光刻機被稱為“現代光學工業之花”，製造難度很大，全世界只有少數幾家公司能製造。 因此曝光機價格昂貴，通常在 3 千萬至 5 億美元。

那製作光刻機究竟有什麼用呢？

可以說，如今我們使用的任何智能設備，都離不開一個東西，那就是二極體大規模集成電路，而光刻機就是製造這個東西的。

所以，完全自主生產光刻機也被認為中國制約中國科技發展的又一大障礙。

⑤ 唐傳祥的介紹

唐傳祥，男，1969年生於山東沂源縣魯村。畢業於清華大學，是傑出青年基金獲得者，博士生導師。