清華大學教授文章
㈠ 清華大學工物系教授程曜在最近一篇文章中提到:中國的現狀和一百多年前的美國非常類似。
美國經濟史 喬洞缺納森·休斯(JonathanHughes)
建議看一下那個年代的小說,畢竟小說上描寫的那個時代更橋顫銷加鮮活。
德萊塞、傑克倫敦、歐亨利的敏游小說推薦
㈡ 清華大學歷史系李伯重教授有哪些著作
《北宋方臘起義》(署名:千里,與延之合著),雲南人民出版社(昆明)1975年 《唐代江南農業的發展》,農業出版社(北京)1990年 《Agricultural Development in the Yangzi Delta, 1620-1850》,英國麥克米蘭出版公司戚緩(The Macmillan Presss Ltd., Houndmills, England) 與美國聖馬丁出版公司(St. Martin』s Press, Inc. , New York, USA)。中譯本(《江南農業的發展,1620—1850年》),上海古籍出版社,2006年 《江南的早期工業化,1550-擾仔孝1850》,社會科學文獻出版社(北京)2000年 《發展與制約:明清江南生產力研究》,聯經出版事緩稿業公司(台北)2002年 《理論、方法與發展趨勢:中國經濟史研究新探》,清華大學出版社(北京)2002年。韓文版(Jungguk Gyeongjesa Yeonguui Saeroun Mosaek),2006年,漢城。 《多視角看歷史:南宋後期至清代中期的江南經濟》,三聯書店(北京)2002年 《千里史學文存》,杭州出版社(杭州)2004年 《江南的城市工業與地方文化(960-1850年)》(與周生春共同主編),清華大學出版社(北京)2004年
譯著: 《轉變的中國:歷史變遷與歐洲經驗的局限》(美國王國斌著,與連琳琳合譯),江蘇人民出版社(南京),1998年
㈢ 清華副教授稱因為不喜歡「內卷」就躺平是不負責任,網友怎麼看
今天(28日)上午,#清華教授稱躺平態度極不負責#話題一躍登進微博熱搜前十,短短時間閱讀量就達1.4億次,討論次數1.2萬次,網友關注度可見一斑。不少網友認為,李鋒亮「躺平極不負責任」的觀點未免「居高臨下」,還給人一種「站著說話不腰疼」之感。也有許多網友觀其文章,反駁其對於「內卷」的說法,認為他對此理解並不準確。
甚至還有人進行情景假設,描繪了一幅「清華大學副教授捲起來」的場景,以說明什麼叫做「內卷」。值得注意的是,一些網友也指出,「躺平」是一種接納自我的生活方式。同時,也有人表示,不是自己不願意奮斗,只是因種種現實原因而無奈選擇「躺平」。

「躺平」文化釋放了一個要關注年輕人心理和生活狀態的信號:
對大部分年輕人而言,生活並非沒有「慾望」,只是有時候實現的難度比較大,比如想要有更多可以自由支配的時間,想要盡可能地提升生活質量,在一番較勁之後發現沒能「翻身」或者「逆襲」,也就選擇了「躺平」。顯然,現代社會仍然要盡可能多地創造條件,讓年輕人有機會在社會系統中實現自我價值。
而另一方面,年輕人也不必急於「躺平」。哪怕是像《百元之戀》電影里靠「家裡蹲」生活了32年的主人公,依然有產生「好想贏」意念的時刻,哪怕獨自抵抗生活的重拳,也不妨向生活致意。
㈣ 清華大學教授信
清華大學美術學院繪畫系教授忻東旺寫給藝術愛好者的一封信:
廣大的藝術愛好者或青年學生們,我能有機會和大家討論關於藝術的話題是件很欣慰的事,不管有些孩子是否真的適合學藝術都沒關鉛瞎系,首先我認為我們有機緣接觸到藝術就是一件幸事。
在我們的生活槐渣空中如果能多一份對藝術的感受力,就會遠離平庸,就會使我們的生命維度加寬,因為藝術在生活中無處不在,如果我們能夠欣賞到如同得到上帝的恩惠,否則就會白白的浪費掉。
生活中沒有了藝術就好像失去芬芳和水分的水果一樣,只剩下枯燥的功能和實用性了。或許有梁野人還不太理解只有實用而缺失美感的心靈,但它的確會影響整個民族的高貴。
如果恰好你因喜歡藝術而畫畫,那無疑是最幸運的了。只要你善於鑽研思考,我相信因你愛藝術而會延展生命的意義。
㈤ 清華大學張超:實現數據確權與保護,數據密態漸成行業共識
2022年1月,國務院印發《「十四五」數字經濟發展規劃》,強調要著力強化數字經濟安全體系,增強網路安全防護能力,提升數據安全保蔽滲障水平,有效防範各類風險。近日,清華大學網路研究院副教授、MIT TR35 China獲得者張超發表文章,闡釋了要充分利用創新的技術手段推動數據確權等觀點。
全文如下:
近期,推動數字經濟 健康 發展,成為了各方熱議的話題。隨著移動互聯網、雲計算、物聯網、工業互聯網等信息技術的快速發展和落地應用,網路空間積累了海量的數據,涉及現代 社會 運轉的方方面面,包括個人信息及各行業生產流通數據等,蘊含著巨大的價值。而人工智慧等技術的發展,進一步提升了從海量數據中提取價值的能力。在廣泛的數據來源以及豐富的數據處理能力基礎上,人類 社會 正在進入數字經濟時代,數據成為新時代的「石油」。
國家《「十四五」數字經濟發展規劃》指出,數字經濟是繼農業經濟、工業經濟之後的主要經濟形態,是以數據資源為關鍵要素的新經濟形態。推動生產要素數字化轉型,充分開發和利用數據中的價值,是發展數字經濟的重要途徑。數據作為一種特殊的資源,具有所有權、使用權、運營權、收益權、隱私權等不同的權利屬性,明確數據的權利所有者是實現數據流通及交易的前提,只有產權界定清晰、權責明確,數據才能共享流通,發揮其價值。同時,在數據的流通及交易過程中,必須確保數據的相關權利以及隱私性得以保護,才能支持數字經濟的 健康 持續且高質量發展。
然而,不同於實體經濟的石油,數字經濟的數據資源具有獨特的性質,為數據的確權、流通和交易帶來了挑戰。首先,數據具有可克隆性。明文的數據在流通過程中被克隆後,新數據與原來的數據無法區分;進一步,不同來源的數據可以融合為新的數據;而新數據經過分析處理之後可以進一步提煉為新的數據;導致數據的產權邊界隨著流通而變得模糊,為產權保護帶來極大挑戰。再者,數據存在隱私屬性,通過數據分析可以提取數據所有者或者提供者的信息,包括個人隱私信息等。如何在開發利用數據價值的同時保護隱私,是數據流通及交易中需要解決的另外一個重大挑戰。
在早期的數據產業生態中,數據的使用簡單粗暴,從用戶側未經授權直接採集數據,用明文直接傳遞數據,以明文形式存儲敏感數據,帶來了巨大的安全和隱私問題。數據明文形態給數據的確權、流通及交易帶來了挑戰,數據產權難以確定和驗證,數據流通過程中隱私泄露風險高。
今年1月,中國信通院組織的隱私計算合規白皮書座談會上,螞蟻集團副總裁韋韜提出:「個人信息的保護對 社會 、對企業的影響都是非常大的,我們將正式步入前所未有的數據密態時代。」這一技術洞察很好地反映了當前數據流通領域現狀,現在看來,已然逐漸成為行業共識。在數據密態時代,數據將以密態形式在主體間流動和計算,密碼學技術和隱私計算是關鍵手段。利用公鑰密碼等技術對數據進行加密,可以定義數據主體身份,明確密態數據的產權所有者為密鑰擁有者,並可以向其他主體證明數據的所有權,且防止數據泄露,從而有效支撐數據確權等。
推動數據確權,需要充擾瞎分利用創新的技術手段。其中,多方安全計算等隱私計算技術,可以在不轉移原始數據的前提下實現對數據的開發利用,推動數據所有權和使用權分離,實現數據「可用不可見」。不過隱私計算等數據匿名化技術在沒有限定的開放環境下,仍存在數據被恢復識別的風險。針對這個問題,產業界的解決方案提供了很好的參考,例如螞蟻集團提出的「可信隱私計算」能很好的滿足對環境的管控、對使用場景的限定、以及對審計的支持,使合規性、數據權益管控達到好的平衡點。通過融合隱私計算與可信計算技術,可以有效解決匿名化後個人信息重新被識別的問題,實現「可算不可識」。
密態數據的隱私計算技術,解決了數據確權與隱私保護的很多痛點,但是在實踐落地中仍然存在挑戰,需要進一步融合多種技術緩並空甚至與法規相配合,才能更好地推動密態數據的確權、流通與交易等商業應用的實用化落地。
首先,隱私計算單一技術並非所有應用的最佳解決方案,例如在密態數據的登記與檢索方面,與區塊鏈技術相結合的隱私計算技術可以更高效地實現密態數據的確權登記、確權記錄檢索、交易登記、交易記錄檢索等。其次,當前的隱私計算面臨著效率瓶頸,包括本地計算效率以及網路通信效率等,解決效率問題的技術途徑包括針對隱私計算的專用晶元、優化的隱私計算演算法等。第三,隱私計算系統也面臨著傳統的安全風險,在開放的網路與系統環境下,其邏輯和數據的完整性可能受到破壞,因而也需要硬體、系統、演算法多維度的技術協同,確保隱私計算技術的底座安全性。最後,技術方案不能完全解決數據確權與合規的問題,需要標准、法規的支持與配合。當某個隱私計算方案失去了其承諾的數據保護能力時,需要通過行業標准、國家標准、法律法規的支持,讓業界有規可循,才能實現其商業應用的合規。
過去中國在很多技術的發展上都滯後於國際水平,但是數據安全領域還處在發展早期,以數據為要素的數字經濟處於發力階段,中國是有機會在世界范圍內領先的。
「數據密態」將成為整個數字領域的核心競爭力,也是行業發展的共同訴求。大力發展可信隱私計算等技術,有望推動數字經濟高速發展,成為我國經濟發展的下一輪強勁增長點。
㈥ 清華大學工程物理系教授曾寫過一篇文章
是的。
是關於半導體量子阱中激子旋量態理論和半導體超晶格拉曼散射的微觀理論。
是中國科學院院士,清華大學高等研究院教授,物理系教授。畢業於清華大學工程物理系,1981年獲清華大學固體物理碩士學位,曾任物理系主任,理學院院長。
㈦ 朱文濤的清華大學教授
朱文濤 ,男,生於1946年12月,清華大學化學系教授,中國化學會化學教育委員會委員 。
1970年畢業於清華大學工程化學系(現為化學工程系)物理化學專業,留校任教至今。1996-1997年在美Emory University作訪問學者,曾兼任中國化學會化學教育委員會委員。主要教學工作為開設本科《物理化學A》,主要研究方向為電化學。編著出版150多萬字的教材和教學參考書,發表教學及科研論文共60餘篇,獲專利4項,教學工作多次獲得校級獎勵,與他人合作獲得國家科技進步二等獎1項,部級獎2項。 1970—1985年:在清華大學化工系任教,主要從事物理化學課程教學和聚碳酸酯化工產品的研製與生產;
1985年至今:在清華大學化學系任教,主要從事物理化學課程教學及科研工作。研究領域包括煤化學及煤燃燒清潔產品開發、電化學、高能二次鋰離子電池和直接甲醇燃料電池;
1996—1997年:Emory University (U.S.A) 訪問學者 編著物理化學教材3本(共110萬字),發表教學與科研論文30餘篇,獲中國專利1項,獲校級獎多項、部級獎1項、國家級獎1項。
(1)著作:
《物理化學(上冊)》. 朱文濤. 清華大學出版社, 1995;
《物理化學(下冊)》. 朱文濤. 清華大學出版社, 1995;
《物理化學中的公式與概念》. 朱文濤. 清華大學出版社, 1998;
《基礎物理化學(上冊)》. 朱文濤. 清華大學出版社, 2011;
《基礎物理化學(下冊)》. 朱文濤. 清華大學出版社, 2011;
(2)專利:易燃炭球. 武增華, 朱文濤. ZL 91 1 04375.6;
(3)部分文章:
朱文濤, 劉雲. 標准平衡常數和經驗平衡常數. 量與單位: 1992(1),21;
朱文濤, 邱新平. 熱力學標准狀態與平衡常數. 化學通報: 1999(6),25-27;
朱文濤, 邱新平. 化學動力學中活化能與反應熱和活化焓關系的研究. 清華大學學報: 1999(6),23-24

㈧ 如何評價清華大學政治學系教授任劍濤在期刊論文中引用自媒體文章並聲稱人可以靈魂出竅、地球上有外星人
任教授的論文。
教授的用詞還是比較嚴謹的,甚至有科學家令人驚奇地聲稱,根據有待確證的證據,都說明他團銀後續沿引的證據可能是真的,可能是假的。
他將後續論點建立在這種或真或假的論據之上,已經說明他是在做「帶有一定想像或假設意義上的討論。
就好比現在很多論文喜歡討論人工智慧對未來20年世界的影響一樣,只不過任教授的討論的可能是100年以後的世界。

基本信息
不論是哪一種心態,都可以說是舊中國改革至今留下的必然後遺症,都是新中國必須直面的群眾統治者共有的心態問題,若是不得到及時解決,它必然影響中國在新的世界體制下的發展腳步。
清華大學政治學教授任劍濤提出好或彎,中國人深藏一種中國與西方勢不兩立、你死我活的文化。他認為,中國人應該告別晚清戰爭帶來的受害者的心態,以及強行排外的戰狼式愛國。
這兩種心態都直接導致中國無論是文化友悶還是政治領域,都與西方相抗衡,格格不入,使得中西兩種文化沒有辦法平等發展下去。
㈨ 以《背影》聞名文壇的清華教授,50歲拒吃美國援助的麵粉而餓死
1948年6月18日,清華大學中文系主任吳唅拿著一份拒絕接受美國麵粉的聲明書來到了一個教授的家中,這位近50歲的教授正因為胃病復發營養不良而卧床不起,瘦得不成人形。
吳唅拿著聲明書對他說:「你一家老少九口,日子特別艱難,如果拒絕在聲明上簽字,經濟損失特別大,但為了尊重你的意見,我還是來了,總之不要勉強。」
這位瘦得不成人形的教授艱難地坐起來,堅決在聲明上簽了字對吳唅說:「我的秉性,吳先生是知道的。春秋時節氣節之士堅持不吃嗟來之食活活餓死,傲骨可嘉,足可為人師表。故我寧可餓死,也不要帶有侮辱性的美援麵粉。「,兩個月後,這位教授病逝,他就是以《背影》聞名的文學家朱自清。
01
朱自清原名自華,字佩弦,號秋實,1898年出生於江蘇梅州,他出生於一個官宦家庭,祖父朱則余是海州當地的承審法官,父親朱鴻鈞在揚州的江都縣做過官。
1901年,3歲的朱自清隨父母遷居揚州,在楊州市安樂巷29號老宅中住了十三年,他的祖父和父親都是文官因此從小對他的教育都十分重視,朱自清從小就授受正式的私塾教育,也為他後來成為大文學家打下了基礎。
1912年,14歲的朱自清考入新式教育的揚州高等小學,隨後進入江蘇第八中學就讀,四年後以優異成績考上了北京大學預科,後來取《楚辭》中「寧廉潔正直以自清嚴」中的「自清」二字,改名為朱自清。
1916年,年18歲的朱自清也遵從父母之言娶了當地名醫武威三的女兒武鍾謙,婚後倒也美滿,武鍾謙是個賢妻良母,先後為朱自清生下了六個孩子,婚後第二年,朱自清的父親因為一場風波丟了職務,從此朱家失去了穩定的經濟來源。
不過這也沒有影響到朱自清的學業,他在大學充分發揮了自己的文學才華,於1919年2月出版了處女詩集《睡吧,小小的人兒》,他還參加了新潮社,並且積極參與「五四運動」,在青年時期是個有為青年。
1920年,朱喊手此自清以優異成績提前一年在北京大學哲學系畢業,年僅22歲,高等大學畢業後的朱自清工作卻不怎麼順利,他先帶著妻子去杭州浙江第一師范學校擔任老師,後來又回到母校楊州中學任教,當時父親已失業,弟弟妹妹又小,全家都靠朱自清收入生活,經濟負擔很重。
當時朱自清的新派思想跟父親的舊派思想老是發生沖突,於是他又帶著妻兒離開了楊州,前往上海吳淞中國公學任教,但還是每月寄錢回薯陪老家補貼家用。
02
1925年,27歲的朱自清在好友俞平伯介紹下進入清華大學任教,生活總算穩定一些了,這時他的妻子武鍾謙卻積勞成疾去世了,給朱自清留下了五個孩子,一個帶孩子的男人急需鄭迅一個女人幫手,於是好友浦西為他介紹了一個叫做陳竹隱的女孩認識。
陳竹隱是四川成都人,畢業於四川第一女子師范學校,也是一個知識份子,她很仰慕朱自清,願意跟朱自清結婚,但善良的朱自清考慮到自己是個喪偶還帶著五個娃的男人,而對方是個未婚的年輕女子,不想拖累,所以拒絕。
但陳竹隱為朱自清的人品所折服,主動示愛,表示不計較當孩子的繼母,朱自清大受感動,兩人熱戀於1932年結婚,他們婚後非常幸福,陳竹隱又連續生下了三個孩子,對朱自清與前妻的五個孩子也視如己出,感情很好,但是由於陳竹隱一人帶著八個小孩,難免偶然會有情緒。
朱自清敏銳地察覺到了這點,主動減少在外應酬,並承擔了一部分家務,順利度過了婚姻的磨合期,感情歷久彌堅,兩人相親相愛,一直到朱自清去世,都很恩愛。
03
朱自清與妻子的關系處得非常好,但之前跟父親的心結一直沒有打開,1928年,朱自清前妻去世前一年,他突然收到久不通信的父親朱鴻鈞的一封信。
當時的父親已經年過半百,他在信中寫道:「我身體平安,惟膀子疼痛厲害,舉箸提筆,諸多不便,大約大去之期不遠矣。」朱自清看到這封信心裡非常難受,連續幾夜輾轉反側,沒有睡好,想起父親以前對自己的種種好處不免動容。
尤其回憶起1917年他去北京大學就讀時,父親送別他的場景,一時之間百感交集,靈感噴發,朱自清揮筆寫下了中國現代史上最經典的散文之一《背影》
之後,上海開明書店出版了朱自清的散文集,其中就有這篇《背影》,朱自清的三哥朱自華看到大哥的散文集就帶回家給父親看,父親看到兒子寫的《背影》,不禁老淚縱橫,父子冰釋前嫌。
隨著父子關系的緩和,朱自清也進入了文學創作高峰,接連創作出了很多優秀作品。1934年他出版了《歐游雜記》,1935年編輯了《中國新文學系》,1936年出版了散文集《你我》。
這時抗日戰爭爆發,朱自清隨清華大學南下長沙,1938年3月到達昆明,出任北京大學、清華大學、南開大學合並的西南聯合大學的中國文學系主任,並當選為中華全國文藝界抗敵協會理事。
在抗戰時期,物資短缺,就是像朱自清這樣的文學家和大學教授生活都非常困難,當時他的月薪不過400塊出頭,全家開銷遠遠超過收入,很多時候需要依靠友人的救助過活,但在這樣艱難的環境中,朱自清仍然孜孜不倦地從事著教學和文學研究。
04
抗戰勝利後,朱自清又回到北平繼續教學,這時一宗慘案打破了他生活的平靜,他的摯友聞一多出事了。聞一多是湖北黃岡人,出國留學歸來後也在清華任教,但他是個抗戰積極份子,於1944年加入了中國民主同盟會,1945年當選為中國民主同盟會中央委員。
1945年,國民黨出動大量軍警鎮壓學生運動,造成了震驚全國的「一二一」慘案,國民黨特務認定民主人士李公朴是罷課的組織者,將其暗殺,聞一多在李公朴的追悼會上發表了《最後一次講演》公開斥責國民黨特務,被國民黨暗殺,這就是歷史上著名的「李聞慘案」。
朱自清聞訊非常悲痛,他立即寫信給聞一多夫人,表示了憤怒和商議遺稿出版事,還表示願意盡力照顧聞家人的生活,由此事件為契機,朱自清也堅定地成為民主主義戰士。
05
毛澤東曾在《別了,司徒雷登》中寫道:「中國人是最有骨氣的,許多曾經是自由主義者或民主主義的人們,在美帝國主義者及其走狗國民黨反動派面前站起來了。「其中就列舉了朱自清一身重病,寧願餓死也領美國」救濟糧「的例子。
抗戰前,朱自清就因為生活不規律患上胃病,再加上家中八個孩子,他為了節省口糧,經常一天只吃餐,後來胃病開始嚴重,不得不休養了整整一年。
抗戰結束後,內戰又爆發,國家的經濟一片混亂,朱自清這樣的教授雖然比普通老百姓生活要好一些,但也就勉強填飽肚子而已,當時他的胃病已經非常嚴重,每餐只能吃少量的細糧,當時這種情況要麼去黑市買糧,要麼就接受當時美國提供的」救濟糧「。
美國的」救濟糧「是指美國人在1948年援助國民黨政府數億美元的一部分,主要為了解決中國飢荒的問題,這些糧食有很多種,其中就有粗糧和細糧,但當時清華大學一批愛國教師起草了一份《百十師長嚴正聲明》,拒絕美國收買性質的施捨。
當時朱自清沒有細糧就活不下去,但他寧願餓死也不願意接受美國的施捨,真正地體現了一位愛國文學家的氣節,可歌可泣。有些人活著,卻已經死了,有些人死了,卻永遠活著,朱自清就屬於後者。
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㈩ 清華團隊論文登Nature,或為EUV光刻機發展提供新想法
【新智元導讀】 2月25日,清華大學工程物理系唐傳祥研究組與合作團隊在《自然》上發表研究論文《穩態微聚束原理的實驗演示》,報告了一種新型粒子加速器光源「穩態微聚束」的首個原理驗證實驗。與之相關的極紫外光源有望解決自主研發光刻機中最核心的「卡脖子」難題。
最現代的研究用光源是基於粒子加速器的。
這些都是大型設施,電子在其中被加速到幾乎是光速,然後發射出具有特殊性質的光脈沖。
在基於存儲環的同步輻射源中,電子束在環中旅行數十億轉,然後在偏轉磁體中產生快速連續的非常明亮的光脈沖。
相比之下,自由電子激光器(FEL)中的電子束被線性加速,然後發出單次超亮的類似激光的閃光。
近年來,儲能環源以及FEL源促進了許多領域的進步,從對生物和醫學問題的深入了解到材料研究、技術開發和量子物理學。
現在,一個中德團隊證明,在同步輻射源中可以產生一種脈沖模式,結合了兩種系統的優點。
2月25日,清華大學工程物理系教授唐傳祥研究組與來自亥姆霍茲柏林材料與能源研究中心(HZB)以及德國聯邦物理技術研究院(爛卜PTB)的合作團隊在Nature上發表了題為《穩態微聚束原理的實驗演示》( Experimental demonstration of the mechanism of steady-state microbunching )的論文。
報告了一種新型粒子加速器光源「穩態微聚束」(Steady-state microbunching,SSMB)的首個原理驗證實驗。
該研究與極紫外(EUV)光刻機光源密切相關,有望為EUV光刻機沒歷慶提供新技術路線。
SSMB光源首個原理驗證實驗,中德團隊登上Nature
同步輻射源提供短而強烈的微束電子,產生的輻射脈沖具有類似於激光的特性(與FEL一樣),但也可以按順序緊密跟隨對方(與同步輻射光源一樣)。
大約十年前,斯坦福大學教授、清華大學傑出訪問教授、著名加速器理論家趙午和他的博士生Daniel Ratner以提出了「穩態微束」(SSMB)。
趙午教授
該機制還應該使存儲環不僅能以高重復率產生光脈沖,而且能像激光一樣產生相干輻射。
來自清華大學的青年物理學家鄧秀傑在他的博士論文中提出了這些觀點,並對其進行了進一步的理論研究。
2017年,趙午教授聯系了HZB的加速器物理學家,他們除了在HZB操作軟X射線源BESSY II外,還在PTB操作計量光枯握源(MLS)。
MLS是世界上第一個通過設計優化運行的光源,在所謂的 「低α模式 」下運行。
在這種模式下,電子束可以大大縮短。10多年來,那裡的研究人員一直在不斷開發這種特殊的運行模式。
HZB的加速器專家Markus Ries解釋說:「現在,這項開發工作的成果使我們能夠滿足具有挑戰性的物理要求,在MLS實證確認SSMB原理」。
「SSMB團隊中的理論小組在准備階段就定義了實現機器最佳性能的物理邊界條件。這使我們能夠用MLS生成新的機器狀態,並與鄧秀傑一起對它們進行充分的調整,直到能夠檢測到我們正在尋找的脈沖模式」,HZB的加速器物理學家Jörg Feikes說。
HZB和PTB專家使用了一種光學激光器,其光波與MLS中的電子束在空間和時間上精確同步耦合。
這就調制了電子束中電子的能量。
「這使得幾毫米長的電子束在存儲環中正好轉了一圈後分裂成微束(只有1微米長),然後發射光脈沖,像激光一樣相互放大」,Jörg Feikes解釋道。
「對相干態的實驗性探測絕非易事,但我們PTB的同事開發了一種新的光學檢測裝置,成功地進行了探測。」
SSMB概念提出後,趙午持續推動SSMB的研究與國際合作。
2017年,唐傳祥與趙午發起該項實驗,唐傳祥研究組主導完成了實驗的理論分析和物理設計,並開發測試實驗的激光系統,與合作單位進行實驗,並完成了實驗數據分析與文章撰寫。
揭示SSMB作為未來光子源潛力的關鍵一步,是在真實機器上演示其機制。在新的論文中,研究人員報告了SSMB機制的實驗演示。
SSMB原理驗證實驗示意圖
實驗表明,存儲在准等時環中的電子束可以產生亞微米級的微束和相干輻射,由1,064納米波長激光器誘導的能量調制後一個完整的旋轉。
結果驗證了電子的光相可以在亞激光波長的精度上逐次相關。
SSMB原理驗證實驗結果
在這種相位相關性的基礎上,研究人員通過應用相位鎖定的激光器與電子輪流相互作用來實現SSMB。
該圖示直觀地展示了如何通過激光調制電子束來產生發射激光的微束,是實現基於SSMB的高重復性、高功率光子源的一個里程碑。
有望解決EUV卡脖子難題
沒有頂尖的光刻機,是我國半導體行業發展的最大瓶頸。
光刻機的曝光解析度與波長直接相關,半個多世紀以來,光刻機光源的波長不斷縮小,晶元工業界公認的新一代主流光刻技術是採用波長為13.5納米光源的EUV(極紫外光源)光刻。
大功率的EUV光源是EUV光刻機的核心基礎。簡而言之,光刻機需要的EUV光,要求是波長短,功率大。
EUV光刻機工作相當於用波長只有頭發直徑一萬分之一的極紫外光,在晶圓上「雕刻」電路,最後將讓指甲蓋大小的晶元包含上百億個晶體管,這種設備工藝展現了人類 科技 發展的頂級水平。
而昂貴的EUV光刻機也正是實現7nm的關鍵設備,目前,荷蘭ASML是全球唯一一家能夠量產EUV光刻機的廠商,而由於禁令,我國中芯國際訂購的一台EUV仍未到貨。
如果中國大陸無法引入ASML的EUV光刻機,則意味著大陸將止步於7nm工藝。
目前ASML公司採用的是高能脈沖激光轟擊液態錫靶,形成等離子體然後產生波長13.5納米的EUV光源,功率約250瓦。而隨著晶元工藝節點的不斷縮小,預計對EUV光源功率的要求將不斷提升,達到千瓦量級。
SSMB光源的潛在應用之一是作為未來EUV光刻機的光源。它們產生的類似激光的輻射也超出了 "光 "的可見光譜,例如在EUV范圍內,最後階段,SSMB源可以提供一種新的輻射特性。脈沖是強烈的、集中的和窄帶的。可以說,它們結合了同步輻射光的優勢和FEL脈沖的優勢。
可以說,基於SSMB的EUV光源有望實現大的平均功率,並具備向更短波長擴展的潛力,為大功率EUV光源的突破提供全新的解決思路。
EUV光刻機的自主研發還有很長的路要走,基於SSMB的EUV光源有望解決自主研發光刻機中最核心的「卡脖子」難題。
關於作者
本文的通訊作者唐傳祥教授是清華大學的博士生導師。
1992年9月-1996年3月,考入 清華大學工程物理系碩博連讀。1996年3月獲得工學博士學位, 博士學位論文為「用於北京自由電子激光裝置的多腔熱陰極微波電子槍的研究」。
1996年4月獲得博士學位後,留校工作。
1996年7月 1998年6月期間,作為訪問學者到德國DESY工作2年。在DESY工作期間,主要進行超導加速結構的優化及測量研究,並與J. Sekutowicz, M.Ferrario等合作提出了Superstructure的超導加速結構。
1998年6月回國後,繼續在清華大學從事加速器物理、高亮度注入器、湯姆遜散射X射線源、自由電子激光、新加速原理與新型加速結構、電子直線加速器關鍵物理及技術、加速器應用等方面的研究。
參考資料:
https://phys.org/news/2021-02-reveals-options-synchrotron-sources.html
https://news.tsinghua.e.cn/info/1438/84915.htm
